在高純度氣體標準物質研制中對微量或痕量雜質的監(jiān)測，往往是研制工作中的難點。高純氣 體是半導體芯片、大規(guī)模集成電路生產質量的關鍵因素，高純氣體的生產要受到眾多因素的影響，從稱量配氣到使用，它要流經很多管道，接觸許多配件、控制裝置和凈化設備，在長期運轉過程中，受配件、裝置、材質的影響，局部可能發(fā)生泄漏或滲漏，均會造成高純氣體的污染。在制備高純氣體標準物質的過程中，同樣也受到上述各種因素的影響。因此，對高純氣體純度的監(jiān)測，是生產過程產品質量的關鍵環(huán)節(jié)。